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과불화탄소 [PFCs (perfluorocarbons)]: 탄소와 불화의 화합물로 전자제품, 도금산업 등에서 세정용, 냉매, 소화기 및 폭발방지물, 분무액, 솔벤트용제, 발포제 등으로 쓰이는 가스이다. 오존층을 파괴하는 염화불화탄소(CFC)를 대체하여 쓰이고 있으나 이산화탄소(CO2), 메탄(CH4)과 더불어 지구온난화 현상을 유발하는 온실가스의 하나로 알려져 있다. 국내에서도 전체 온실가스 중 과불화탄소가 차지하는 비중이 해마다 늘고 있어 1999년 10월 22일 개정된 대기환경보전법 시행규칙은 이산화탄소, 메탄, 이산화질소, 수소불화탄소, 육불화황, 염화불화탄소와 함께 기후·생태계 변화 유발물질로 지정하고 있다. 우리나라의 경우 전량 반도체 제조공정에 사용되며, 과불화탄소의 지구온난화지수(CO2=1)는 7,000배이며, 국내 온실가스 총배출량의 4.2%을 차지한다.