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*?과불화탄소(PFC) 가스
?- 반도체 생산 공정에 사용하는 온실가스
?- 이산화탄소보다 1만 배 더 환경에 안 좋은 영향
- 한국기계연구원은 플라스마의 특징을 이용,
? PFC 가스를 거의 100% 제거하는 ‘공정가스처리용 플라스마 반응기’ 개발
- 현재 대부분의 반도체 공장에선 전기나 가스 연소 장치로 PFC를 태워 없앰
- 새로 개발한 제거 장치의 전기사용량은 시간당 2kW로 기존 장치의 15분의 1
- 국내 모든 반도체 공장에서 이 장치를 적용하면 화력발전소 1기가 생산하는 정도인 시간당 약 30만 kW의 전기를 절약
